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  QU系列探针主要用于THz波导至微带转换,是THz产品核心元器件开发的必要部件。探针采用石英(二氧化硅)为探针基板,结构稳固,热稳定性好,满足微波电路中低损耗的使用要求;探针采用高精度深紫外光刻技术和磁控溅射技术成型,加工精度高达4微米,金属层材料:Ti/Au,金属层厚度2um。

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